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通用HORIBA堀場 高精度膜流量計
通用HORIBA堀場 高精度膜流量計
在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)
兼容環境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應
級別，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現了高靈敏度。
低真空（高壓）操作
當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統。
用戶可更換的傳感器
校準過濾器可以在現場輕松更換，無需拆卸設備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發的，可實現 QL-SG02 的控制、數據采集、可視化和分析。
這是質量流量計專用的監控單元。
業務部門：半導體
產品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
規格
流量報警輸出功能 外部輸出：集電極開路
流量信號輸出：0~5VDC
流量顯示輸出功能
輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）
適用標準 安全標準：符合 CE 標志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環境兼容性：符合 RoHS 指令
兼容數字/模擬通信模型
顯示單元
這是一個以數字方式顯示流量和壓力信號（0 至 5VDC）的裝置。
業務部門：半導體
產品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
| 高精度薄膜流量計SF-1U/2U | |
|---|---|
| 展示 | LDC 6位數字顯示（可切換顯示測量流量、測量時間、溫度、設定壓力等） |
| 自動測量功能 | 在自動模式下執行自動測量和平均值計算2至10次（可以調用先前存儲的數據；關閉電源會清除電源） |
| 工作環境速度 | 5~40℃ 精度保證范圍（15~30℃） |
| 外部輸入/輸出 | 符合 RS-232C 標準 |
| 電源 | AC適配器（DC7V）驅動 |
| 卷管裝置VP-1U | |
|---|---|
| 流量測量范圍 | 0.2～10mL/分鐘 |
| 準確性 | 0.5%(±1%)0.2～2mL/min(2～10mL/min) |
| 目標氣體 | N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。 |
| 環境溫度 | 5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃） |
| 外部輸入/輸出 | 符合 RS-232C 標準 |
| 體積管單元VP-2U | |
|---|---|
| 流量測量范圍 | 2～100mL/分鐘 |
| 準確性 | 0.5%(±1%)2～20mL/min(20～100mL/min) |
| 目標氣體 | N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。 |
| 環境溫度 | 5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃） |
| 外部輸入/輸出 | 符合 RS-232C 標準 |
| 體積管單元VP-3U | |
|---|---|
| 流量測量范圍 | 20～1000mL/分鐘 |
| 準確性 | 0.5%(±1%)20～200mL/min(200～1000mL/min) |
| 目標氣體 | N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。 |
| 環境溫度 | 5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃） |
| 外部輸入/輸出 | 符合 RS-232C 標準 |
| 卷管裝置VP-4U | |
|---|---|
| 流量測量范圍 | 0.2～10L/分鐘 |
| 準確性 | 0.5%(±1%)0.2~1升/分鐘(1~10升/分鐘) |
| 目標氣體 | N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。 |
| 環境溫度 | 5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃） |
| 外部輸入/輸出 | 符合 RS-232C 標準 |
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