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進口HORIBA堀場 標準氣體分配器設備
進口HORIBA堀場 標準氣體分配器設備
在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)
兼容環境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應
級別，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現了高靈敏度。
低真空（高壓）操作
當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統。
用戶可更換的傳感器
校準過濾器可以在現場輕松更換，無需拆卸設備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發的，可實現 QL-SG02 的控制、數據采集、可視化和分析。
這是質量流量計專用的監控單元。
業務部門：半導體
產品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
規格
流量報警輸出功能 外部輸出：集電極開路
流量信號輸出：0~5VDC
流量顯示輸出功能
輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）
適用標準 安全標準：符合 CE 標志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環境兼容性：符合 RoHS 指令
兼容數字/模擬通信模型
顯示單元
這是一個以數字方式顯示流量和壓力信號（0 至 5VDC）的裝置。
業務部門：半導體
產品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
| 適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | 不銹鋼氟橡膠 |
| 生成流量 | 2～5升/分鐘 |
| 產生壓力 | max70kPaG（根據出口負載而變化） |
| 混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
| 混合精度 | ±0.5%滿量程 |
| 重復性 | ±0.2%滿量程 |
| 響應速度 | 10秒內 |
| 工作溫度 | 0～40℃ |
| 耗氣量 | 與生成流量相同 |
| 燃氣連接 | 外徑?6/內徑?4鐵氟龍管件 |
| 重量 | 約2公斤 |
| 電源 | 不必要 |
| 適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | 不銹鋼氟橡膠 |
| 生成流量 | 0.2～0.5L/分鐘 |
| 產生壓力 | max70kPaG（根據出口負載而變化） |
| 混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
| 混合精度 | ±0.5%滿量程 |
| 重復性 | ±0.2%滿量程 |
| 響應速度 | 10秒內 |
| 工作溫度 | 0～40℃ |
| 耗氣量 | 與生成流量相同 |
| 燃氣連接 | 外徑?6/內徑?4鐵氟龍管件 |
| 重量 | 約2公斤 |
| 電源 | 不必要 |
| 適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
|---|---|
| 生成流量 | 2-5L/min（取決于入口壓力） |
| 產生壓力 | max70kPaG（根據出口負載而變化） |
| 集中劃分 | 0,10,20,30,40,50,60,70,80,90,100%FS(注) |
| 分度精度 | ±0.5%滿量程 |
| 重復性 | 0.2%滿量程 |
| 拆分操作 | 手動的 |
| 響應速度 | 10秒內 |
| 耗氣量 | 與生成流量相同 |
| 外形尺寸 | 寬150×高163×深145（寬200×高195×深175） |
| 重量 | 3.5公斤(5.5公斤) |
| 電源 | 不必要 |
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