銷售咨詢熱線：
17607554908
相關文章
Related Articles池田屋現貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
池田屋現貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機，采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們 的大面積投影透鏡技術，并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現了高生產率，同時實現了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。
[元件技術]
配備*占有率*的超高壓UV燈
具有高均勻性的 照射光學系統
的大面積投影鏡頭
響應基板特定畸變的對準技術
的TTL非曝光波長/對準方法
Ushio的技術“TTL非曝光波長對準"在觀察掩模標記時無需暴露基板上的對準標記。此外，由于可以直接觀察工件標記，因此不會因掩模而降低對比度，并且可以與清晰的標記進行高精度對準。
兼容多種對準標記
由于支持對已登記圖案的圖案匹配，因此無需專用對準標記，即可與各種布線圖案進行對準。
高分辨率能力
配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實現高分辨率。支持全面量產，設計規則線距=5μm。
深景深
由于焦點深度較深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的臺階、翹曲或波紋而導致焦點偏離，也可以獲得與正確對焦時相同的圖案輪廓。當曝光較厚的干膜、阻焊劑等時尤其有效。
使用表面平臺進行高速步進和重復
通過使用精密空氣軸承消除摩擦，并通過平面電機結構使運動部件更輕、更堅固，實現了高速步進重復操作。此外，表面平臺使用激光干涉儀進行反饋控制，實現高速運行和高定位精度。
面罩無損傷
| 模型 | UX-4486SC | UX-44101SC | UX-4423SC | UX-4459SC | UX-4440SC | UX-4438SC | UX-4458SC | UX-4477SC |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 面罩尺寸 | □5英寸 | □7英寸、□5英寸 | □9英寸、□7英寸 | |||||
| 晶圓尺寸 | φ4英寸 | φ6英寸、φ4英寸 | φ8英寸、φ6英寸 | |||||
| 解決 | 7μm長/秒 | 2μm長/秒 | 9μm長/秒 | 6μm長/秒 | 5μm長/秒 | 12μm長/秒 | 6μm長/秒 | 4μm長/秒 |
| 總體疊加精度 | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±2.0μm L/S | ±1.0μ;m L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S |
| 曝光波長 | 洲際線 | 我行 | 洲際線 | 我行 | 我行 | 洲際線 | 我行 | 我行 |
| 吞吐量 | 120W/小時 | |||||||
| 選項 | 背面對準、IR對準、掩模庫、特殊晶圓支撐 | |||||||
電話
微信掃一掃
